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仪器,测量与计量
白光干涉轮廓仪空间扫描范围自适应规划方法
马龙 吕毅 裴昕 焦智超 [ ... ]胡艳敏 
作者单位
摘要
中国民航大学中欧航空工程师学院， 天津 300300
为提高白光干涉轮廓仪的测试效率，提出了一种空间扫描范围自适应规划方法。构建了相应的测试系统，选择能量梯度函数用于系统最佳干涉位置的定位。使用ViBe算法对最佳干涉位置处电荷耦合元件(CCD)图像中的干涉条纹进行提取，并对提取结果进行二值化处理。实验结果表明，该方法能够准确识别扫描上下限位置。
测量 光学无损检测 干涉条纹识别 ViBe算法 白光干涉轮廓仪 空间扫描范围设定 
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激光与光电子学进展
2017, 54(6): 061202
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