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测量与计量
基于线扫描相位差分成像的光学元件激光损伤快速检测技术
范星诺 1,2,*姜有恩 1李学春 1
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理国家实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
将暗场照明应用到线扫描成像中，提出了一种用于光学元件激光损伤的检测技术。该技术基于相位差分原理，只对引起相位变化的激光损伤区域有响应，因此检测图像具有高对比度。分析了该技术的原理，并从实验上验证了该检测技术的特性。实验研究表明该技术能够获得高对比度和高分辨率的激光损伤图像，且具有快速检测大口径光学元件激光损伤的能力。
测量 激光损伤检测 线扫描成像 相位差分法 暗场照明 
PDF全文 Full Text
中国激光
2013, 40(9): 0908005
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