针对典型光学相控阵，建立了一套硅基光学相控阵芯片性能评估方法，为光学相控阵优化设计提供可靠的数据支撑。通过设计傅里叶成像系统对光学相控阵进行动态成像，能够实现对近场远场成像的同步观察。在该基础上设计校准方案对相控阵初始相位进行校准优化，同时对扫描速度、角度和精度等特性参数进行了从理论推导和仿真到测试系统结构设计的整体分析。

针对光学相控阵存在难以校准的相位误差的问题，改进了旋转电矢量相控阵天线初始相位校准方法.与原始方法相比，该方法改变了相位计算方法，并且每测算出一个单元的相位误差立即进行相位矫正，然后测算并矫正下一个单元的相位误差，避免了原始方法在初始相位误差分布范围较广且光功率测量精度有限的情况下可能出现的π相位错误.仿真结果表明，原始方法校准后主瓣光强的平均值最多达到理想值的70.8%，标准差至少为19.1%；而改进方法校准后的主瓣强度均值至少可以达到理想值的87.6%，标准差最大7.3%，证明了改进方法具有更高的统计精度和可预测性.制备了9×9光学相控阵芯片，芯片初始的栅瓣抑制比为2.12 dB，改进的旋转电矢量法校准后则达到了4.68 dB，证明了该方法的有效性与实际应用价值.