作者单位
摘要
中国计量大学 计量测试工程学院,浙江 杭州 310018
针对微流控芯片通道和缺陷的检测要求,设计构建了一套基于预放大离轴光路的反射式像面数字全息显微实验系统。探讨了数字全息显微测量中横向尺寸在视场占比较大的低空间频率物体的相位畸变矫正方法,提出两步相位相减法更适用于该类型物体的相位畸变矫正。通过宽度为55 μm、高度为65 nm的台阶标准样板实验对两步相位相减法、一般多项式曲面拟合法和Zernike高阶多项式曲面拟合法在相位畸变矫正效果上进行对比分析,分析结果表明两步相位相减法矫正畸变后的台阶平均高度相对误差为1.1%,较其他方法的误差更小,畸变矫正效果更好。另外,实验以通道宽度为80 μm的微流控芯片为被测样件,实现了芯片通道以及通道表面断裂型和缺损型缺陷的三维形貌检测,并得到定量结果:断裂型缺陷的宽度为14.1 μm,深度为431.7 nm;缺损型缺陷的宽度为33.6 μm,深度为295.1 nm。实验结果表明:像面数字全息显微实验系统为微流控芯片通道及表面缺陷的快速无损测量提供了新的途径,对于微流控实验系统质量评价具有重要意义。
全息显微 相位畸变补偿 两步相位相减法 微流控芯片 缺陷检测 holographic microscopy phase aberration compensation two-step phase subtraction microfluidic chip defect detection 
红外与激光工程
2022, 51(9): 20210915
董昭 1,2,3王文健 1王华英 1,2,3张子健 1[ ... ]张小磊 1,*
作者单位
摘要
1 河北工程大学数理科学与工程学院, 河北 邯郸 056038
2 河北省计算光学成像与光电检测技术创新中心, 河北 邯郸 056038
3 河北省计算光学成像与智能感测国际联合研究中心, 河北 邯郸 056038
提出了一种改进的基于相位梯度最小化的相位快速自动补偿方法。所提方法利用Zernike多项式拟合像差,并将评价函数写作含多项式梯度的表达式,采取拟牛顿法进行优化得到了对应系数,从而实现了相位补偿。在优化过程中,所提方法可实时给出评价函数与各多项式系数之间的导数,有效提高了优化速度。此外,所提方法还可利用采样技术,进一步提高处理速度。分析和实验结果表明,所提方法速度快、精度高,适用于高速动态全息显微成像。
全息 相位畸变补偿 数字全息显微 优化算法 Zernike多项式 
中国激光
2021, 48(24): 2409001
作者单位
摘要
1 河北工程大学信息与电气工程学院, 河北 邯郸 056038
2 河北工程大学理学院, 河北 邯郸 056038
为了快速、准确地再现球面参考光预放大数字全息图的三维信息,采用理论推导和实验验证相结合的方式,对等曲率物光和参考光预放大数字全息显微系统的相位畸变补偿问题进行了研究。推导了该系统的点扩展函数,进而获得了物体再现光场的复振幅及相位畸变表达式,利用估测的相位掩模对再现光场相位畸变预补偿后进行相位解包裹,结合自动相位补偿方法获得待测样品较为准确的相位分布。对人体血红细胞进行了实验研究,结果表明,利用相位掩模对再现光场进行预补偿,一方面可以避免相位解包裹的错误,另一方面还可以有效消除再现光场的二次相位畸变,以实现利用单次自动相位补偿方法获得光场正确的相位分布。
全息 预放大数字全息术 球面参考光 相位畸变补偿 血红细胞 
中国激光
2013, 40(2): 0209001
作者单位
摘要
1 河北工程大学信息与电气工程学院, 河北 邯郸 056038
2 河北工程大学机电工程学院, 河北 邯郸 056038
3 河北工程大学理学院, 河北 邯郸 056038
为快速、准确地对中药饮片细胞进行形貌表征,采用理论分析与实验验证相结合的方法,对球面参考光像面数字全息显微术进行了研究。结果表明,通过适当调整参考点源的位置,球面参考光像面数字全息显微术可以准实时地消除显微物镜引入的二次相位畸变,利用自动相位补偿算法能够快速、有效地消除因参考光偏离光轴带来的一次相位畸变,准确再现样品的相位信息。基于研究结果,利用所建立的球面参考光像面数字全息显微术对中药饮片蒲黄细胞进行定量成像,由相位分布给出了细胞的大小及形貌特征。
全息术 像面数字全息术 球面参考光 相位测量 相位畸变补偿 中药饮片细胞 
激光与光电子学进展
2013, 50(2): 020904

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