国防科技大学光电科学与工程学院光电工程系,长沙 410073
采用Needle法,对全内腔绿光He-Ne激光器膜系进行设计,并给出了所设计膜系的光谱性能。利用离子溅射镀膜技术镀制了所设计的膜片并且给出了测量结果。制备了多种规格的全内腔绿光He-Ne激光器并且讨论了相关工艺。其中腔长420 mm的全内腔绿光He-Ne激光器的典型输出光功率为3 mW(单模),腔长360 mm的典型输出光功率为2 mW(单模),腔长240 mm的典型输出光功率为1 mW(单模),腔长100 mm的小短管子也能有0.1 mW的出光功率。
激光器 He-Ne激光器 绿光 全内腔 膜系设计 离子溅射镀膜
