作者单位
摘要
深圳中科飞测科技有限公司, 广东 深圳 518000
为了实现对面板上缺陷精细分析和分类,设计了可见光波段、数值孔径为0.42的复消色差平场显微物镜和照明光学系统。通过合理结构优化、光焦度分配和材料的选择,优化出平场复消色差物镜,使其MTF曲线接近衍射极限。采用科勒照明匀光方案,设计照明光学系统,并用Lighttools软件对照明光学系统进行仿真。实验表明,光学系统分辨率达到0.775 μm,在成像视场范围内照明均匀性可以达到98%以上。设计结果与实际测试结果一致,可满足高精度面板检测使用要求。
面板检测 科勒照明 显微镜 Lighttools软件 panel inspection Kohler illumination microscope Lighttools software 
光学仪器
2021, 43(1): 42
作者单位
摘要
1 浙江工业大学光学与光电子研究中心, 浙江 杭州 310023
2 浙江工业大学生物与医学物理信息技术协同创新中心, 浙江 杭州 310023浙江工业大学理学院, 浙江 杭州 310023
根据显微镜照明系统的特点,设计了一款适用于裂隙灯显微镜的科勒照明系统,以实现对眼球的照明与检测。将照明系统分为集光镜与聚光镜两部分,集光镜选用三片式结构,聚光镜选用双胶合结构;根据显微镜照明系统要求,利用最小球差公式求解得到集光镜的初始结构,并用光学设计软件Zemax进行优化设计;将聚光镜添加到光路中,进行整体优化,利用TracePro软件对接收面的光照均匀度进行模拟仿真。整个科勒照明光路总长280 mm,可变光阑面距离集光镜20 mm,距离聚光镜142 mm,工作距离95 mm,接收面光照度在水平方向上均匀度达到93.9%,在垂轴方向上达到92.5%,光斑边缘光滑,清晰分明。该照明系统整体结构简单,其性能很好地满足了整机要求。
光学设计 科勒照明 显微镜 集光镜 聚光镜 
激光与光电子学进展
2017, 54(11): 112202
作者单位
摘要
天津大学 精密仪器与光电子工程学院 光电信息技术教育部重点实验室, 天津 300072
针对现有的LED照明系统体积大、结构复杂、工作距离短的缺点, 提出一种轻量化、均匀性好、能够实现远距离照明的单颗LED投影系统的设计方法。从照明设计理论出发, 结合非成像设计和成像设计方法, 设计了由单颗大功率LED、聚光镜、孔径光阑和投影物镜组成的投影照明系统。聚光镜对LED出射的光线进行匀化并会聚于照明面位置, 投影物镜将照明面处的光斑投影到指定距离的接收面上。系统采用全透射式结构, 便于加工和装调; 单颗大功率LED作为光源能够有效减小系统体积和质量。实验结果表明: 系统能在3 m~3 km范围内形成均匀度大于90%的照明, 成像质量良好, 投影面畸变小于5%, 能满足远距离均匀照明投影的要求。
LED照明设计 远距离投影 照度均匀性 科勒照明 LED illumination design long distance projection illumination uniformity Kohlers illumination 
应用光学
2017, 38(4): 543
作者单位
摘要
南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094
研制了一套基于林尼克干涉仪结构的全场光学相干层析成像(FF-OCT)系统,以获得高质量的全场光学相干层析图像。不同于大多数FF-OCT系统所采用的光纤束照明方式,本系统采用卤素灯作为光源,搭建改进型科勒照明系统进行照明。选用Intel Pentium 4处理器芯片作为样品,对其内部结构进行了成像实验,通过四步移相算法根据四幅连续的相移干涉图像获得了样品的层析图像,实验结果证实了成像系统的可行性。使用改进型科勒照明系统的FF-OCT成像系统,与现有的FF-OCT系统相比,结构简单便于制作,且成本低廉,为实现高分辨率光学相干层析成像提供了简单易行的方法。
成像系统 科勒照明 光学相干层析成像 移相干涉术 
光学学报
2014, 34(5): 0511002

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