室温下采用射频磁控溅射氧化锌(ZnO)粉末靶、银(Ag)靶, 在玻璃衬底上制备ZnO/Ag/ZnO透明导电薄膜。首先, ZnO厚度为30 nm时, 改变Ag厚度制备3层透明导电薄膜, 研究Ag层厚度及膜层间配比对光电性能的影响; 其次, 按ZnO∶Ag厚度比为30∶11比例制备不同厚度的3层透明导电薄膜, 研究多层厚度对薄膜光电性能的影响。结果表明: Ag厚度为8 nm及11 nm的ZnO/Ag/ZnO表面相对平整, 结晶程度较好, 在可见光范围内最高透过率达到90%及86%, 并且方块电阻为6 Ω/□及3.20 Ω/□, 具有优良的光电性; 当按配比制备ZnO/Ag/ZnO 3层膜时, 增加ZnO厚度对Ag层的增透作用反而减弱, 同时增加Ag层厚度也会降低3层薄膜的整体光学性。

室温下，采用射频磁控溅射AZO粉末靶和Ag靶在玻璃基底上制备Ag层厚度分别为12 nm和15 nm两组对称结构掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌（AZO/Ag/AZO）透明导电薄膜，研究了Ag层和AZO层厚度对薄膜光电性能的影响。结果表明：3层薄膜的可见光区平均透光率达到了80%，550 nm处的最高透过率达到了88%，方块电阻小于5 Ω/□。Ag层厚度是影响AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的主要因素，AZO层的厚度对薄膜光学性能影响较大。

室温下在玻璃和聚酰亚胺两种不同衬底上,采用射频磁控溅射法溅射掺铝氧化锌(AZO)粉末靶和固体Ag靶,制备了两组AZO/Ag/AZO 3层透明导电薄膜,研究了AZO层厚度对不同衬底3层膜结构和光电性能的影响。结果表明: 不同衬底的两组AZO/Ag/AZO薄膜均为多晶膜。当Ag层厚度不变时,随着AZO层厚度的增加,两组薄膜电学性能变化不大,透射峰向长波方向移动。玻璃和PI衬底上制备的AZO(30 nm)/Ag(14 nm)/AZO(30 nm)薄膜,在550 nm处的透光率分别为85%和70%,方块电阻分别为2.6 Ω/□和4.6 Ω/□。