1 长春工业大学材料科学与工程学院, 吉林 长春 130012
2 吉林大学汽车材料教育部重点实验室, 吉林 长春 130025
ZnO是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族半导体材料,具有优良的晶格、光学和电学性能,其显著的特点是在紫外波段存在受激发射。利用脉冲激光沉积法(PLD)在氧气氛中烧蚀锌靶制备了纳米晶氧化锌薄膜,衬底为石英玻璃,晶粒尺寸约为28～35 nm。X射线衍射(XRD)结果和光致发光(PL)光谱的测量表明,当衬底温度在100～250 ℃范围内时,所获得的ZnO薄膜具有c轴的择优取向,所有样品的强紫外发射中心均在378～385 nm范围内,深能级发射中心约518～558 nm,衬底温度为200 ℃时,得到了单一的紫外光发射(没有深能级发光)。这归因于其较高的结晶质量。
薄膜 ZnO薄膜 紫外受激发射 脉冲激光沉积
