1 中国科学院西安光学精密机械研究所 条纹相机工程中心，陕西 西安 710119
2 中国科学院大学，北京 100049
3 西北核技术研究所 激光与物质相互作用国家重点实验室，陕西 西安 710024
利用雪崩晶体管作为高速开关器件、根据并联充电、串联放电原理设计了一种串并联相结合的MARX电路，以该电路为基础设计了一种低抖动高压脉冲驱动源，并将其应用于紫外激光脉冲的电光开关削波系统。通过同步调节器调节高压驱动脉冲和激光电光系统的时间匹配度，获得了驱动电脉冲与电光开关耦合的最佳工作状态；对匹配过程中的电光开关工作状态以及激光脉冲压缩过程进行了分析和研究，当高压驱动电脉冲幅度为2 690 V，脉宽为7.9 ns时，可以将脉宽为7.1 ns的紫外激光脉冲压缩至2.1 ns，KDP晶体的透光率达到了92.2%，电光开关的效率达到了31.7％。
MARX电路 驱动电脉冲 紫外激光脉冲削波 电光开关 MARX circuit driving pulse UV laser pulse clipping electro-optical switch
