华中科技大学激光技术国家重点实验室, 武汉 430074
采用波长248 nm的KrF准分子激光器,对Al2O3陶瓷片及玻璃片的精密加工进行了研究,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律。同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响, 并且对加工后工件的表面形貌进行了分析。
准分子激光器 激光精密加工 脉冲切割 工艺研究
华中科技大学激光技术国家重点实验室,湖北武汉,430074
采用Nd:YAG激光对0.2 mm厚的不锈钢模板精密切割,系统研究了激光切割工艺参数对缝壁表面粗糙度、缝壁表面残留物的影响规律,结果表明:提高重复频率、功率密度、脉冲宽度以及降低扫描速度,均可改善切缝质量.导出了描述脉冲激光切割切缝表面粗糙度的公式,利用该公式可以较好地解释本文的实验结果.最后,提出了控制激光精密切割切缝缝壁质量的方法.
激光精密切割 粗糙度 脉冲切割 质量控制
