1 中国科学院微电子研究所 微电子仪器设备研发中心,北京00029
2 中国科学院大学,北京101407
3 北京交通大学 理学院,北京100044
4 中国科学院电工研究所,北京100080
5 北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心,北京100029
基于原子层沉积与聚焦离子束切割抛光相结合的工艺,提出了一种多层膜型波带片制备技术。利用耦合波理论计算出最外环宽为10 nm的Al2O3/HfO2、Al2O3/SiO2、Al2O3/Ir和Al2O3/Ta2O5四种材料组合的多层膜波带片在X射线能量为8 keV和15 keV时的菲涅尔波带片的理论衍射效率,讨论了最外环宽和波带片高度对衍射效率的影响,选择了Al2O3/HfO2为后续叠层制备。研究了原子层沉积制备Al2O3和HfO2薄膜的生长特性,验证了原子层沉积技术制备单层膜厚为10 nm叠层结构的可行性,实验结果表明,利用原子层沉积技术制备Al2O3和HfO2薄膜粗糙度可控在1 nm,均匀性优于±1.5%,单叠层厚度误差仅为0.416 nm.同时,利用聚焦离子束切割抛光技术得到了最外环宽为10 nm,高宽比200的高分辨率X射线菲涅尔波带片。
菲涅尔波带片 原子层沉积 聚焦离子束 高分辨率 耦合波理论 Fresnel zone plate Atomic layer deposition Focused ion beam High resolution Coupled wave theory
1 漯河医学高等专科学校,河南 漯河 462002
2 华侨大学 信息科学与工程学院,福建 厦门 361021
基于衍射光学方法,研究了不同阶数的贝塞尔高斯光束经过环形菲涅尔波带片后,在波带片的焦点附近所形成光强分布。入射光束为高阶贝塞尔高斯光束,聚焦区域获得了空心光强分布,入射光束的阶数越高,空心尺寸越大;菲涅尔波带片的数目越多,空心长度越短。入射光束为零阶贝塞尔高斯光束,在聚焦区域获得了针形光束和局域空心光束。这些具有特殊光强分布的光束在激光加工以及粒子囚禁等领域有着潜在应用价值。
贝塞尔高斯光束 菲涅尔波带片 空心光束 针形光束 局域空心光束 Bessel-Gauss beam Fresnel zone plate hollow beam needle beam bottle beam
基于菲涅尔波带片透镜的设计原理,设计了三款多层介质结构的菲涅尔波带片天线.该天线采用高增益的波纹喇叭天线提供馈电,工作频段为太赫兹通信第一大气窗口320~380GHz,回波损耗低于-15dB,增益大于25dBi.研究了菲涅尔波带片天线的周期数和子区数对天线性能的影响,结果表明随着周期和子区数的增加,增益也会不断的提高,而当波带片直径和喇叭口径面积相比拟时,电磁波损耗较大,并且谐振频率在太赫兹大气窗口内右移.
太赫兹 菲涅尔波带片 波纹喇叭天线 多层介质 THz Fresnel zone plate corrugated horn multielectric
1 汕头大学 物理系, 广东 汕头 515063
2 汕头超声显示器有限公司, 广东 汕头 515041
液晶菲涅尔波带透镜是基于液晶的电光效应来改变其折射率分布的新型透镜。在频率为100 Hz的交流电压驱动下,用UV-Vis 8500型紫外/可见分光光度计测量了液晶菲涅尔波带透镜三基色R(700.0 nm)、G(546.1 nm)、B(435.8 nm)的电光特性,得到三基色的T-V曲线。分别在0 V、1.0 V、3.0 V下,测量He-Ne激光通过液晶菲涅尔波带透镜后的光强,得到光强分布。结果表明,液晶菲涅尔波带透镜的阈值电压为1.0 V,且随着电压的改变,三基色透过率的变化趋势是一致的。同一波长的入射光在不同电压下通过透镜后,透镜的焦距不同。
菲涅尔波带片 液晶透镜 三基色 电光特性 Fresnel zone plate liquid crystal lens tricolor electro-optical performance
电子科技大学光电信息学院, 四川 成都 610054
描述了基于光生等离子体效应的瞬态毫米波菲涅耳波带片扫描天线的工作原理。模拟计算了高阻硅 片在不同激光光强照射下对毫米波的透射率,设计了毫米波在以不同偏离角入射时菲涅耳波带片的结构。分析了激光照射硅 片形成不同焦距的波带片时天线的增益性质。实验验证了94 GHz波段天线,测试结果与模拟计算结果吻合得较好。
光生电导率 扫描天线 光控 菲涅尔波带片 photo-conductance scanning antenna optical control Fresnel zone plate
中空光束具有特殊的物理性质,在光信息处理、微电子学、同位素分离和分子光学等领域有着广泛的应用。本 文提出采用TFT-LCD制作相位型菲涅尔波带片,平面波经TFT-LCD衍射生成中空光束。实验结果表明,基于TFT-LCD的菲涅尔波带片生成的中空光束具有实时可调、快捷和精确等优点。
菲涅尔波带片 中空光束 TFT-LCD TFT-LCD Fresnel zone plate hollow beam
1 陇东学院物理系,庆阳 745000
2 陇东学院计算机科学系,庆阳 745000
根据亥姆霍兹-基尔霍夫积分,对菲涅尔波带片的高斯激光场在轴向、径向强度分布进行了理论分析,研究了高斯激光束照射下波带片的衍射场规律.数值计算表明:沿轴向光场呈系列焦点,各焦点附近光强分布有振荡现象,随焦点级次的增大光强迅速增大;有焦移现象,焦移量随焦点级次的增大而增大;焦深随焦点级次的升高按平方反比律减小,随波带数减小或焦距增大而增大.在焦平面上,光斑大小与最外环宽度成正比,与焦点级次成反比.
亥姆霍兹-基尔霍夫积分 高斯激光束 菲涅尔波带片 数值模拟 Helmhots-Kirchohoff integration Gaussian laser beam Fresnel zone plate Numerical simulation
1 温州师范学院物理与电子信息科学系,浙江,温州,325027
2 温州师范学院生物与环境科学系,浙江,温州,325027
用衍射光学方法研究了加有多级相位菲涅尔波带片(MPFZP)的空间光调制器(SLM)的轴上衍射光强.根据所需要的焦点的数目是一个还是两个以及分辨率的要求来优化选择MPFZP的相位深度和量化级数,可以使想要的焦点得到加强,而其它不想要的焦点的影响得到了抑制.开关SLM的编码态,聚焦点和散焦点的位置交换.
多级相位菲涅尔波带片 空间光调制器 光强分布 衍射效率