1 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院， 上海 200093
2 上海市现代光学系统重点实验室， 上海 200093
3 五邑大学 薄膜与纳米材料研究所， 广东 江门 529020
为了提高紫外焦平面阵列的填充因子，可以通过微透镜阵列与紫外焦平面阵列的集成，以改善紫外焦平面阵列的探测性能。根据标量衍射理论设计了用于日盲型紫外焦平面阵列的128×128衍射微透镜阵列，其工作中心波长为350nm，单元透镜F数为F/3.56。采用组合多层镀膜与剥离的工艺方法制备了128×128衍射微透镜阵列，对具体的工艺流程和制备误差进行了分析，测量了衍射微透镜阵列的光学性能。实验结果表明：衍射微透镜阵列的衍射效率为88%，与理论值95%有偏差，制备误差主要来自对准误差和线宽误差。紫外衍射微透镜阵列具有均匀的焦斑分布，与紫外焦平面阵列单片集成能较好地改善器件的整体性能。
紫外 焦平面阵列 衍射微透镜阵列 单片集成 utraviolet FPA dffractive microlens mnolithic integration
对衍射微透镜阵列的光学性能进行理论上的研究,并提出一种测试微透镜阵列衍射效率和点扩散函数的方法,建立了一套测试系统,并对本所研制的128×128衍射微透镜阵列的衍射效率和点扩散函数进行了测试。测试结果证明本所研制的2位相的石英和硅衍射微透镜阵列的性能较好,均匀性较高;而由于工艺和光刻系统的限制,4位相衍射微透镜的制作还存在一些不足,这些都可以从所得到的衍射微透镜的点扩散函数曲线图和衍射效率看出。该方法适于测试具有微小单元尺寸、周期排列的微透镜阵列或单元的衍射效率和点扩散函数。
二元光学 衍射微透镜阵列 衍射效率 点扩散函数
