作者单位
摘要
常州工学院光电工程学院,江苏 常州 213032
非球面反射镜通常使用零位补偿器配合干涉仪进行面形检测,因此零位补偿器的加工和装配精度直接决定了检测结果的可靠性。提出一种具备良好通用性的基于计算全息片(CGH)的补偿器误差标定方法。以一块Φ856 mm、f/1.54的双曲面反射镜作为待测非球面镜,首先设计反射式CGH,运用光线追迹法得到CGH的相位函数,使其引入的球差与待测非球面主镜的法线像差相同,再由ZEMAX仿真计算验证该设计的正确性,并根据相位函数加工出主全息。在同一块玻璃基片上设计和加工对准全息带用于标定光路的调整。实验结果表明,所制作的CGH标定零位补偿器的精度达到λ/80。可见对于大口径、快焦比的凹非球面反射镜,所提方法仍然适用,因此可用于指导多数正轴非球面镜的零位补偿器标定。
零位补偿器 干涉检测 计算全息片 相位函数 光线追迹 
激光与光电子学进展
2024, 61(4): 0422001
郝三峰 1,2张建 1,3,*杨建峰 1
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710119
2 中国科学院大学,北京 100049
3 西安电子科技大学 机电工程学院,西安 710071
为实现高次非球面的高精度检测与确定性加工,从高次非球面检测的零位补偿器设计和干涉检测图的投影畸变校正两方面出发提出了具体的解决方案。首先,基于三级像差理论与PW法推导了高次非球面三片式补偿器初始结构参数计算公式。针对有效口径314 mm、F/0.78的8阶偶次非球面,将基于公式获得的初始结构参数代入光学设计软件进行缩放、优化后获得PV=0.009 6λ、RMS=0.001 2λλ=632.8 nm)的补偿器设计结果,公差分析结果表明此设计满足高次非球面λ/50的检测精度要求。进一步地,针对基于零位补偿器的干涉检测图存在畸变的问题提出了一种校正方法,该方法采用零位补偿器的成像畸曲线数据确定干涉图的畸变规律,利用畸变零点求解算法确定畸变中心,结合畸变规律与畸变中心点坐标进行逆向求解实现干涉检测图畸变的快速校正。采用本文所提方法对零位补偿检测结果进行畸变校正,基于畸变校正结果对非球面进行了6次磁流变抛光后,面形RMS由0.270λ收敛至0.019λ,验证了该畸变校正方法的有效性。
高次非球面 零位检测 补偿器设计 投影畸变校正 确定性抛光 High order aspheric surface Null testing Compensator design Mapping distortion correction Optical deterministic polishing 
光子学报
2023, 52(2): 0212004
张敏娟 1,2,*李春阳 1,2李晋华 1,2杨坤 1,2
作者单位
摘要
1 中北大学信息与通信工程学院,山西 太原 030051
2 中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心,山西 太原 030051
相位延迟量是偏振光学元件的一个重要指标,为了精准快速地测量偏振元件的相位延迟量,提出一种具有相位补偿的级联调制的偏振元件相位延迟量检测方法。该方法采用弹光调制器(PEM)和电光调制器(EOM)作为相位延迟量检测系统的级联调制元件,利用Soleil-Barbinet相位补偿器对样品进行光学补偿。基于数字锁相技术与现场可编程逻辑门阵列(FPGA)的片上可编程系统,检测光强极值点对应的Soleil-Barbinet相位补偿器的相位参数并进行数据处理,实现样品的相位延迟量检测。实验表明,利用该方法测量样品的相位延迟量的最大相对误差为0.857%,测量精度为99.143%,验证了将偏振调制法和补偿法相结合测量相位延迟量具有较高的精度,且降低了补偿器本身对测量误差的影响。
仪器,测量与计量 相位延迟量 弹光调制 电光调制 数字锁相技术 Soleil-Barbinet相位补偿器 
激光与光电子学进展
2023, 60(1): 0112001
作者单位
摘要
上海师范大学 信息与机电工程学院,上海 201418
针对传统Prandtl-Ishlinskii(PI)模型不能反映压电式气体比例阀迟滞非对称特性而导致其补偿控制精度难以提高的问题, 提出了一种改进的PI模型, 通过添加3次多项式使其能拟合压电式气体流量比例控制阀的非对称迟滞曲线。利用改进的自适应粒子群遗传算法辨识所需的模型参数, 模型相对误差为0.007 3%, 并将模型用于前馈补偿控制。实验结果表明, 基于迟滞模型的前馈补偿控制可显著提高压电式气体比例阀输出流量控制的快速性, 调节时间降低了60%。
压电式气体比例阀 迟滞非线性 PI模型 前馈补偿器 piezoelectric gas proportional valve hysteresis nonlinear PI model feedforward compensator 
压电与声光
2022, 44(4): 662
孟文 1,2马臻 1,2,*沈乐 1
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所先进光学元件试制中心,陕西 西安 710119
2 中国科学院大学,北京 100049
抛物镜归一和重整化后的Offner补偿器设计可以被认为是在参数空间寻优的确定化问题。通过构建抛物镜Offner补偿器优化结构实例,获得其评价函数在参数空间的分布,得到Offner补偿器设计结果参照图谱,提出一种对补偿器设计初始结构选择和性能评价的方法,结果揭示了该问题可以通过数值方法得到较好解决。
光学设计与制造 非球面 零位检验 Offner补偿器 样条插值 结构评价 
激光与光电子学进展
2022, 59(13): 1322003
作者单位
摘要
北京交通大学 光波技术研究所 全光网络与现代通信网教育部重点实验室,北京 100044
介绍了一种基于定量相位显微(Quantitative phase microscopy,QPM)法、Brace-Köhler补偿器(Brace-Köhler compensator,BKC)法与机器视觉技术的多芯光纤综合参数测试系统,并利用该系统获得了七芯光纤的折射率分布与几何结构,单模光纤的内应力分布图。采用横向测量方式的QPM法避免了截断光纤造成的损坏,采用改进的BKC法优化了光延迟量的获取方式,结合机器视觉技术,实现了多模块、高空间分辨率、快速准确的光纤参数测量,其中相对折射率差的精度约5×10−4量级,单模光纤内应力测量分辨率约0.5 MPa。通过与既有的光纤产品技术指标对比,证明了该系统具有测量准确性,测试结果为多芯光纤在传输和传感等多领域的应用提供了数据支撑。
多芯光纤 定量相位显微法 补偿器 机器视觉 重构 multi-core fiber quantitative phase microscopy compensator method machine vision reconstruction 
红外与激光工程
2022, 51(1): 20210758
作者单位
摘要
南京航空航天大学航天学院, 南京 211000
针对可重复使用运载器(RLV)再入过程中存在的未知干扰、不确定性以及舵面部分失效(PELF)等问题, 基于增量反演法(IBS)和跟踪微分干扰补偿器(TDDC)设计了鲁棒容错控制律。首先, 对姿态角回路和角速率回路分别设计增量控制律, 并引入误差积分项增强系统的鲁棒性。其次, 对于传统增量反演法直接忽略掉的慢变项和泰勒展开高阶项, 基于Sigmoid跟踪微分器设计了适用于IBS控制律的干扰补偿器对其进行估计和补偿。最后, 仿真结果表明, 相比于传统的增量反演法, 所设计的控制律指令跟踪精度更高。
改进增量反演法 跟踪微分干扰补偿器 可重复使用运载器 鲁棒容错控制 improved incremental backstepping TDDC RLV robust fault-tolerant control 
电光与控制
2021, 28(6): 11
作者单位
摘要
北京空间机电研究所, 北京 100086
应用于航天遥感领域的高光谱分辨率傅里叶变换光谱仪, 多采用分束器补偿器的方案实现分光。 由于光学器件的加工误差, 实际应用的分束器与补偿器厚度并不能达到理想的完全匹配, 当分束器与补偿器的厚度不匹配时, 由于厚度误差引入的光程差会在视场内产生干涉条纹, 进而影响光谱仪的调制度并降低其信噪比。 为满足航天遥感高信噪比的要求, 需要根据性能要求对分束器与补偿器的厚度误差范围进行限制, 即分束器补偿器厚度匹配设计。 通过理论分析方法建立了引入厚度匹配误差的附加光程差计算公式, 以及视场范围内的光谱仪干涉信号强度计算公式, 并通过Zemax建模仿真直观显示了由于分束器与补偿器厚度匹配误差导致的视场内干涉条纹信号, 给出了光谱仪调制度随厚度匹配误差增加而下降的变化曲线。 分析了视场范围在厚度不匹配条件下对调制度影响的增强效果, 发现扩展光源的入射角变动受视场角影响, 入射角变动越大导致光程差变化量越大, 进而引起调制度的下降越大; 分析了光源波数与计量激光波数不同条件下, 由于器件折射率变化导致的色散效应对厚度不匹配影响的增强效果, 发现厚度不匹配误差越大色散相位差越大, 要恢复明确相位需要限制厚度不匹配误差使其引起的色散相位差小于2π。 通过理论分析, 建立了分束器补偿器厚度匹配设计准则, 提出先通过光谱仪光谱范围和计量激光器参数限制分束器补偿器厚度不匹配误差, 再导入光谱仪设计参数计算厚度不匹配误差与调制度关系曲线, 根据调制度要求进一步限制厚度不匹配误差。 通过该设计准则, 可以提出傅里叶变换光谱仪的分束器补偿器厚度不匹配公差范围, 指导分束器与补偿器的工程设计。
厚度匹配 分束器 补偿器 傅里叶变换光谱仪 Thickness matching Splitter Compensator Fourier transform spectrometer 
光谱学与光谱分析
2020, 40(12): 3941
周浩 1,2王欣 1,2,*刘强 1,2贾建军 1,2舒嵘 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所空间主动光电技术重点实验室, 上海 200083
2 中国科学院大学, 北京 100049
针对米级大口径非球面,从平面波Offner零位补偿器检验光路的三级像差理论公式出发,推导计算了补偿器与被检镜面口径比不同时的光学规化参数,经过光学软件仿真,获取不同口径比下6种曲率半径非球面的最大口径和最大相对孔径。结果表明随着口径比的减小,平面波补偿检验非球面的相对孔径能力随之减弱,对于不同相对孔径的非球面检验,可选择最小口径比来达到检测要求。针对口径为720 mm的凹非球面镜检验,基于工程可行性,采用口径比α1=0.2的Offner补偿器,获得方均根(RMS)为0.0033λ的设计,实际检验测量中RMS为0.019λ,符合对该非球面的检验要求。
几何光学 Offner补偿器 非球面检验 平面波 光学设计 
激光与光电子学进展
2020, 57(19): 190801
王刚 1,1,2侯俊峰 1,1,2林佳本 1,2王东光 1,2张鑫伟 1,1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院大学, 北京 100049
2 中国科学院 中国科学院太阳活动重点实验室, 北京 100101
相位延迟-电压曲线的精确标定是向列型液晶可变相位延迟器能否实现高精度偏振测量的关键。为了提高液晶相位延迟的测量精度, 建立了一套精确高效的自动测量系统。首先, 提出了一种新的测量方法, 该方法综合了光强法、索累补偿器法以及等偏离测量技术, 可以解决现有方法测量精度低或效率低的问题。在此基础上建立了测量系统, 并利用Labview技术实现了系统的自动化测量, 进一步缩短了测量时间。最后, 对系统的测量误差、重复精度以及工作效率进行了实验验证。实验结果表明, 系统延迟测量误差小于0.057 5%λ, 重复精度小于0.019 7%λ, 可在30 min内完成100个延迟采样点的自动化测量。该系统适用于可见光范围内液晶可变延迟器相位延迟-电压曲线的精确标定。
液晶相位可变延迟器 相位延迟-电压曲线 精确自动化标定 索累补偿器 等偏离技术 liquid crystal phase variable retarder phase delay-voltage curve precise automated calibration compensator method equivalent deviation technology 
光学 精密工程
2020, 28(4): 827

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