中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
采用溶胶-凝胶金属氧化物半导体薄膜,作为表面等离子体激元共振效应的光化学传感器的传感介质。分析了金属Ag膜与传感薄膜的光学参数对传感器灵敏度的影响。通过在金属层与传感层之间优化设计中间层,进一步提高了传感器灵敏度。选择SnO2薄膜及SiO2薄膜作为传感层与中间层,对三种气体NH3、C2H5OH、C3H8进行气敏实验,结果表明结构优化的传感器具有更高的灵敏度。
表面等离子体激元共振 溶胶-凝胶 薄膜传感器 光学参数
总结了光化学传感器的机理及其发展现状，特别介绍了近年来发展较快的利用表面等离子体激元共振（SPR）效应及溶胶-凝胶（sol-gel）法薄膜工艺制备的波导式、光纤式化学传感器，讨论了发展中存在的问题，提出了今后的研究方向。
光化学传感器 表面等离子体激元共振 溶胶-凝胶法
