1 西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710032
2 西安应用光学研究所, 陕西 西安 710065
基于评价函数的宽光谱膜厚监控系统,由于实测光谱曲线和理论光谱曲线相背离,使得评价函数发散,监控失败。利用实测的膜层透射率光谱曲线,对于已镀层,利用模拟退火算法实时拟合其实际的光学常数,据此修正目标透射率曲线,并补偿吸收的影响,重新设计膜层数及预镀层厚度,获得新的评价函数,如此对评价函数进行逐层修正。实验结果表明,薄膜厚度监控误差可以达到10-2以下,精度完全可以满足实际要求。
薄膜 膜厚监控 评价函数修正 模拟退火算法 逐层吸收补偿 激光与光电子学进展
2012, 49(2): 023101