1 西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710032
2 西安应用光学研究所, 陕西 西安 710065
基于评价函数的宽光谱膜厚监控系统，由于实测光谱曲线和理论光谱曲线相背离，使得评价函数发散，监控失败。利用实测的膜层透射率光谱曲线，对于已镀层，利用模拟退火算法实时拟合其实际的光学常数，据此修正目标透射率曲线，并补偿吸收的影响，重新设计膜层数及预镀层厚度，获得新的评价函数，如此对评价函数进行逐层修正。实验结果表明，薄膜厚度监控误差可以达到10-2以下，精度完全可以满足实际要求。
薄膜 膜厚监控 评价函数修正 模拟退火算法 逐层吸收补偿 激光与光电子学进展
2012, 49(2): 023101
