1 四川大学电气信息学院， 四川 成都 610064
2 KLA-Tencor, Milpitas, CA 95035, USA
当利用相位测量轮廓术进行三维物体表面重建时，如果物体表面反射率很大，通过照相机捕获的光栅图像会发生光强度饱和现象，光栅光强度饱和会造成三维重建时的相位误差。对因光栅光强度饱和而导致的相位误差进行研究，并建立每个像素点各帧光强度值的数学模型，提出了一种利用未饱和光强值直接求解相位的新方法。通过仿真和实验分别验证了提出的算法的有效性。仿真结果表明，采用修复算法计算的相位，其误差的均方根值比修复前减小了92.5%；实验中利用该算法求得的相位误差，其均方根值比修复前的相位误差均方根值最多减小了82.8%。
测量 相位测量轮廓术 误差抑制算法 光强度饱和 相位误差 中国激光
2013, 40(10): 1008001
1 中国矿业大学机电工程学院，江苏 徐州 221116
2 中石化管道储运公司管道技术作业分公司, 江苏 徐州 221008
针对投影条纹相移法三维形貌测量中的图像饱和误差进行了深入研究，分析了基于条纹相移技术的图像饱和误差抑制算法的适用范围，推导了基于六步相移的饱和误差抑制算法公式.理论分析表明，相移条纹图的帧数越多，饱和误差抑制算法的适用范围越广.并通过数值模拟和实验进行了验证，基于六步相移的饱和误差抑制算法可以更加有效地抑制图像饱和引起的相位误差.
应用光学 饱和误差抑制算法 相移法 三维形貌 Applied optics Phase-recovering algorithm Phase-shifting method 3D profile
