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薄膜
超分辨相变光盘的膜层计算与分析
李进延 阮昊 干福熹 
作者单位
摘要
中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
利用多层膜反射率的矩阵法计算了GeSbTe超分辨相变光盘的光学参数与各膜层厚度之间的关系,最后得到了较为理想的膜层厚度匹配.
超分辨相变光盘 掩膜 反射率对比度 
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光学学报
2002, 22(1): 30
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