1 北京航空航天大学,理学院,物理系,北京,100083
2 北京大学,重离子物理教育部重点实验室,重离子物理研究所,北京,100871
为提高超导加速腔的加速梯度和Q值,改进了薄膜型超导腔的加速性能.研究证明,对于铜铌溅射腔,在无氧铜衬底和铌膜之间加入NbN 层可以提高铌膜的超导转变温度,改善晶格结构;对纯铌超导腔提出了改进方法,在传统的纯铌超导腔表面制备多层的超导-绝缘-超导复合膜可以屏蔽Nb腔表面的界面场,提高超导腔的临界磁场,从而提高了铌腔的加速梯度.
溅射 超导腔 氮化铌 超导转变温度 超导-绝缘-超导
