针对高精度光电编码器转角精度的检测，提出了一种基于双频激光干涉仪的光电编码器转角精度检测方法，并研制了相应的检测装置。该装置以步进电机为驱动元件，通过减速机构带动被检编码器和角度基准旋转，以Renishaw双频激光干涉仪为角度基准检测仪器，使用Renishaw RX10回转轴校准组件为角度旋转基准，检测精度达1.36″。分别使用该装置和传统手动检测装置对21 bit绝对式编码器进行精度检测对比实验，结果表明，该装置是可行的，且在检测效率、检测精度上均高于传统检测装置。

针对上海光源(SSRF)软X射线谱学显微光束线站高分辨变包含角单色器(VAPGM)在超高真空环境下对波长扫描机构转角精度的现场测试，提出了一种实用、有效的检测方法。采用自制的多角棱镜，结合高精度光电自准直仪进行现场测试。首先，介绍了单色器波长扫描原理，给出角度与波长的关系；接着，理论分析了转角精度与系统分辨率之间的关系；最后，介绍了该方法的检测原理、装置及检测步骤。利用该方法完成了VAPGM平面镜(PM)和平面光栅(PG)转角精度的检测， 结果分别为0.19″，0.22″，满足单色器技术指标要求。在电离室在线检测了标定后的单色器系统的分辨率，测试结果好于10 000，进一步验证了该检测方法的有效性。

为了使上海光源(SSRF)研制的SX-700单色器的主要设计指标——波长扫描转角重复精度满足优于0.43″的要求，研究了单色器的波长扫描组件—光栅正弦机构的转角精度误差来源。设计单色器结构时，运用有限元分析软件ANSYS对光栅正弦机构进行数值模拟计算，并根据模拟结果对光栅正弦机构的转角重复精度进行了误差分析，得到的转角重复精度为0.28″。依据分析结果制定了工程设计方案，并成功加工、装配了SX-700单色器。利用作者建立的一套由光电自准直仪组成的测试系统对光栅正弦机构的转角重复精度进行测试，实测精度为0.15″。结果表明，设计的SSRF的SX-700单色器光栅正弦机构的转角重复精度满足设计要求。

提出了一种亚角秒精度的转角测量方法.利用ZYGO数字干涉仪测量压电陶瓷转动平台驱动待测标准平面镜偏转前后镜子面形精度的PV(Peak Valley)值,二者的差值除以待测标准平面镜的直径,其结果近似等于压电陶瓷转动平台转动的角度.通过测量与误差分析,验证了压电陶瓷转动平台的转角精度小于1 μrad(0.2″),而测量的总误差和压电陶瓷转动平台移动的角度大小有关,移动距离越大,产生的误差越大,但其相对误差小于1%.本测量方法证明压电陶瓷精密转动平台转角精度达到了极紫外太阳望远镜(EUT)0.8″的角分辨率的要求.