昆明理工大学光电子新材料研究所， 云南 昆明 650051
采用脉冲激光沉积法（PLD）在Al2O3衬底上成功制备了Zn0.99Fe0.01O薄膜，研究了退火氧压对Zn0.99Fe0.01O薄膜的晶体结构及其激光感生电压（LIV）效应的影响。X射线衍射仪分析结果表明，Zn0.99Fe0.01O具有六角纤锌矿结构，并且是沿［001］取向近外延生长。同时随着退火氧压的增大，薄膜的晶粒尺寸先增大后减小，退火氧压为2000 Pa时薄膜晶粒尺寸最大，结晶质量最好。另外在10°倾斜的Al2O3单晶衬底上制备的Zn0.99Fe0.01O薄膜在3000 Pa的退火氧压下可以观察到最大的LIV信号，达到79.5 mV。
薄膜 ZnOFe薄膜 激光感生电压 脉冲激光沉积 退火氧压
