1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 光驰科技(上海)有限公司, 上海 200444
为提高手机显示屏的耐摩擦、防划伤能力,降低显示屏破碎的风险,研制了在可见光波段的硬质增透膜。通过逐步提高设计中SixNy膜层厚度在薄膜总厚度中所占的比例,优化沉积工艺,改善薄膜硬度。根据增透膜的设计理论、合理的膜层分组方式和逆向反演分析法完成膜系设计,降低了薄膜反射率。测试结果表明,在可见光波段范围内,薄膜的平均反射率为0.58%,硬度达到15.99 GPa。
光学薄膜 增透膜 逆向反演分析法 硬度 反射率 激光与光电子学进展
2020, 57(15): 153101
长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
为满足日盲探测系统的技术要求, 研制了一种可以实现紫外日盲区(200~270 nm)高透射、近紫外到近红外区(300~1200 nm)深截止的光学滤光片。通过分析材料的光学特性, 结合光学薄膜理论, 优化膜系结构, 设计了介质与金属组合的膜系。采用电子束加热蒸发的方法沉积金属膜, 通过对沉积速率的实验研究, 在保证金属光学性能的前提下, 有效降低了膜厚控制误差。采用逆向反演法与膜层敏感度分析, 对谐振层工艺参数进行优化, 有效降低了谐振层的控制误差。该滤光膜在200~270 nm波段的平均透射率达到51.21%, 在300~1200 nm抑制区的平均透射率为0.90%。
薄膜 滤光膜 日盲探测 控制误差 逆向反演
为满足关联成像系统抑制背景的需求，选用Al、Cr和SiO2作为镀膜材料，依据薄膜吸收理论，结合膜系设计软件设计了宽光谱吸收膜，并采用真空沉积技术获得了该薄膜样品.通过真空阶梯式退火，减小了膜层内应力，解决了薄膜牢固度问题；采用交互式分析对测试结果逆向反演，通过优化工艺参量，使膜系中敏感薄层厚度得以精准控制，并减小了膜厚控制误差.制备的吸收膜在400～1 100 nm波段平均吸收率达到99.1%，满足系统使用要求.
薄膜 关联成像 阶梯式退火 逆向反演 内应力 吸收膜 Thin film Correlated imaging Stepped vacuum annealing Reverse inversion Internal stress Absorbing film 光子学报
2016, 45(10): 1031001
