1 四川大学 电子信息学院，四川 成都 610064
2 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心，四川 绵阳 621900
3 西南技术物理研究所，四川 成都 610041
采用自由空间耦合的方法，激发双面金属包覆波导中的超高阶导模，通过在双面金属包覆介质波导的两个金属膜上加不同的电压，改变导波层铌酸锂的厚度和折射率，得到不同参数下的衰减全反射谱，从而验证超高阶导模的偏振不灵敏性及对导波层厚度和折射率十分灵敏的特殊性质，实验结果与理论相吻合。比较相同条件下反射率的变化，得到铝包覆波导的灵敏度要高于金包覆波导。所得结果对集成光电子器件的研制有一定的参考价值。
金属铝包覆波导 自由空间耦合 超高阶导模 衰减全反射谱 Al-cladding optical waveguide free-space coupling ultrahigh-order modes attenuated-total-reflection spectrum
