1 天津大学精密仪器与光电子工程学院， 天津 300072
2 天津理工大学电信学院， 薄膜电子与通信器件天津市重点实验室， 天津 300384
为了提高半导体激光器位置敏感器件(LD-PSD)激光三角法测距、测厚系统的测量精度，对半导体激光器的光斑质量进行了研究。用不同功率的半导体激光器做静态测距实验，结果表明，在长时间连续测量中，激光光斑重心的漂移增大了系统的测量误差。光斑重心漂移主要是由光斑的高频噪声和光斑整体偏移造成的。针对这两方面因素设计了基于针孔滤波和棱镜分束的能够提高激光光斑质量的光学系统，并用CODEV软件进行了优化与仿真。将所设计的光学系统加入到测距仪中重新进行静态测距实验，结果表明，改善后的系统精确度由25 μm提高到8 μm，使得基于位置敏感器件的激光三角法测距、测厚系统在长时间连续工作时也能保持较高的测量精度。
测量 光斑重心漂移 针孔滤波 棱镜分束 位置敏感器件
1 哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001
2 河北工业大学机器人及自动化研究所,天津,300130
论述了一种新型的机器人视觉系统所用激光准直光束的获取方法,分析了半导体激光束的像散椭圆高斯光束特性,设计了光束准直系统的光学结构,利用光斑法对准直度进行了检验,实验证明利用这种方法获取的准直光束符合该视觉系统的要求.
机器人视觉 半导体激光器 扩束镜 针孔滤波器 准直镜 Robotic vision Semiconductor laser Expending lens Pinhole filter Collimation lens
