作者单位
摘要
1 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 电子科技大学光电信息学院, 四川 成都 610054
研究了磁控溅射制备Sub/NiCrNx/Ag/NiCrNx/SiNx/Air多层结构银反射镜的特性,分析了N2对Ag薄膜、介质保护层及银反射镜光谱的影响。采用深度剖析X射线光电子能谱和透射电子显微镜分析了银反射镜短波波段(400~500 nm)反射率偏低的原因。采用分光光度计、扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究了N2占比对Ar/N2混合气体溅射制备单层银膜光学性质、表面形貌及晶向结构的影响,比较了不同Ar/N2比例混合气体溅射制备银反射镜的反射率,并分析了对应样品SiNx保护层的化学计量比。实验结果显示,溅射制备银膜时,在Ar中引入一定比例的N2,SiNx保护层的化学计量比得到改善。当N2体积比由0上升至40%时,Ar/N2混合气体溅射制备的银反射镜在400 nm波长处反射率由71.7%提高到79.3%。此外,基于Ar/N2混合气体溅射溅射制备的银反射镜样品具备优良的环境稳定性。
薄膜 银反射镜 磁控溅射 SiNx薄膜 Ar/N2混合 
中国激光
2016, 43(12): 1203002
作者单位
摘要
中国科学院安徽光学精密机械研究所光学遥感中心, 安徽 合肥 230031
为解决多角度偏振辐射计分孔径偏振测量的视场统一问题,并保证偏振测量精度。提出基于反射式望远系统的分孔径光路,并对选定的两镜扩束系统方案进行了初始结构参数的计算及系统优化。对反射镜镀银膜的新望远系统与透镜镀1/4 波长氟化镁的原望远系统的偏振效应进行了模拟分析,望远系统偏振效应的模拟结果表明:基于银膜反射镜的新望远系统在波长最短的410 nm 的偏振效应最大为0.258%,其他波段均低于0.1%,优于或与原系统相当。新望远系统能保证各波段视场统一并满足低偏振效应的条件,可替代原透射望远系统,并提出一种基于新望远系统的偏振探测方案。对新探测方案的优势进行了总结,指出了缺陷及应对措施,并对应用进行了分析。
光学设计 偏振 望远系统 分孔径 银反射镜 多角度 
激光与光电子学进展
2015, 52(7): 070801

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