作者单位
摘要
1 中国科学院大学 光电学院,北京 100049
2 中国科学院光电技术研究所,成都 610209
Ag基膜系具有在可见到近红外波段最高的反射率,但Ag的环境稳定性较差,易受腐蚀而导致反射率降低。采用离子束辅助电子束蒸发沉积(IAD)方式制备了不同厚度比例的Ta2O5-SiO2纳米胺薄膜,计算出有效折射率和膜层残余应力,选用Ta2O5厚度占比为75%的纳米胺薄膜,进一步设计制备了纳米胺结构保护层Ag基膜系和常规两层式结构保护层Ag基膜系,实现了多波段高反射率目标,并且两种Ag基膜系的残余应力相近。在24 h湿热实验后,纳米胺结构保护层Ag基膜系的反射率红移量小于常规两层式结构保护层Ag基膜系;在144 h湿热实验后,纳米胺结构保护层Ag基膜系表面缺陷腐蚀程度小于常规两层式结构保护层Ag基膜系,结合聚焦离子束制样后利用TEM观察结果,表明纳米胺结构保护层具有更高的致密度,能够为Ag基膜系提供更优良的环境稳定性。
Ag基膜系 纳米胺 反射率 残余应力 环境稳定性 Ag-based films nanolaminate reflectance residual stress environmental stability 
半导体光电
2023, 44(4): 580
作者单位
摘要
河北视窗玻璃有限公司,河北省企业技术中心,河北省超薄电子玻璃技术创新中心,廊坊 065000
实验设计中的混料设计是解决配方问题非常有效的方法,通过混料最优设计可以优化玻璃配方。结合JMP软件分析,得到了在一定约束条件下的碱铝硅盖板玻璃的最佳配方组合。实验结果表明:混料设计可根据较少的预期拟合模型,拟合出最优的玻璃配方,并可预估出玻璃的性能;用软件计算得到的配方制备了玻璃,并测试了玻璃的性能,结果达到了预期效果。
实验设计 混料设计 盖板玻璃 配方 design of experiment mixture design cover glass formulation 
玻璃搪瓷与眼镜
2023, 51(10): 15
作者单位
摘要
1 北京工业大学材料与制造学部, 北京 100124
2 河北南玻玻璃有限公司, 廊坊 065600
探究了单一型及复合型紫外截止剂和配合料氧化还原指数(Redox)对超白玻璃紫外光谱透过率的影响。研究结果表明: 在CeO2和MoO3共同作用下, 当超白玻璃的紫外透过率降至54.50%时, 可见光透过率依然可以保持在92.56%。配合料Redox在7~10时, 不影响超白玻璃色度值(颜色)和紫外-可见光的透过率。
超白玻璃 紫外截止剂 氧化铈 氧化钼 氧化还原指数 ultra-white glass UV cut-off agent CeO2 Mo2O3 redox index 
玻璃搪瓷与眼镜
2022, 50(9): 1
作者单位
摘要
1 河北南玻玻璃有限公司,廊坊 065600
2 北京工业大学材料与制造学部,北京 100124
探究高温分解型澄清剂Na2SO4+C(炭粉)和氧化还原型澄清剂CeO2+NaNO3对超白浮法平板玻璃可见光透过率的影响。结果表明,随着Na2SO4和C量的增加,超白玻璃的可见光透过率随之增加,从91.30%提升至91.87%。而氧化还原型澄清剂中的CeO2质量分数小于0.07%时,超白玻璃的可见光透过率并没有实质性增加;CeO2质量分数超过0.07%时,增长趋势明显。相对于高温分解型澄清剂Na2SO4+C,氧化还原型澄清剂CeO2+NaNO3具有更显著的氧化性,有助于Fe2+/Fe总减少,但是Ce4+的自身着色和紫外截止效应影响了可见光透过率,建议使用量的质量分数不超过0.07%。
超白平板玻璃 澄清剂 可见光透过率 ultra-white flat glass refining agent visible light transmittance Na2SO4 Na2SO4 CeO2 CeO2 
玻璃搪瓷与眼镜
2022, 50(2): 9
作者单位
摘要
1 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 电子科技大学光电信息学院, 四川 成都 610054
研究了磁控溅射制备Sub/NiCrNx/Ag/NiCrNx/SiNx/Air多层结构银反射镜的特性,分析了N2对Ag薄膜、介质保护层及银反射镜光谱的影响。采用深度剖析X射线光电子能谱和透射电子显微镜分析了银反射镜短波波段(400~500 nm)反射率偏低的原因。采用分光光度计、扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究了N2占比对Ar/N2混合气体溅射制备单层银膜光学性质、表面形貌及晶向结构的影响,比较了不同Ar/N2比例混合气体溅射制备银反射镜的反射率,并分析了对应样品SiNx保护层的化学计量比。实验结果显示,溅射制备银膜时,在Ar中引入一定比例的N2,SiNx保护层的化学计量比得到改善。当N2体积比由0上升至40%时,Ar/N2混合气体溅射制备的银反射镜在400 nm波长处反射率由71.7%提高到79.3%。此外,基于Ar/N2混合气体溅射溅射制备的银反射镜样品具备优良的环境稳定性。
薄膜 银反射镜 磁控溅射 SiNx薄膜 Ar/N2混合 
中国激光
2016, 43(12): 1203002
作者单位
摘要
1 中国科学院 光电技术研究所, 成都 610209
2 中国科学院 研究生院, 北京 100039
采取主镜镜面向上真空蒸镀制备方式,开展了大型天文望远镜主镜铝加介质保护反射膜技术研究。结合ZZS3200型镀膜设备真空室几何配置,对传统膜厚分布计算物理模型进行了修正,分别分析了铝膜与介质膜层膜厚均匀性。结果表明:理论分析与实验数据一致,直径2.4 m范围内膜厚不均匀性约5.5%。通过优化工艺,成功制备出1.8 m平面镜薄膜元件,在350~1 800 nm波段范围内,膜层平均反射率88.6%,通过了环境稳定性测验。
均匀性 反射率 环境稳定性 主镜 镀膜 uniformity reflectance environment stability primary mirror coating 
强激光与粒子束
2012, 24(2): 365
作者单位
摘要
1 中国科学院,光电技术研究所,成都,610209
2 中国科学院研究生院,北京,100039
研究了2.2 m高真空箱式镀膜机镀膜时的实际膜厚分布情况.对非球面和平面光学元件,分别采用行星夹具和平面公转夹具并利用修正板调节膜厚均匀性.从实验上实现了大口径薄膜均匀性的调节,并获得较为理想的结果.口径在700 mm范围内,对于凹面均匀性可以控制在0.7%以内,平面均匀性在1%以内;口径在1 200 mm范围内凹面元件均匀性可控制在1%以内,平面1 300 mm口径以内窗口均匀性可控制在1%以内.镀制了口径在400~1 300 mm的多种天文观测上使用的反射镜、增透膜等,获得了理想的光谱曲线与较好的使用效果.
大口径光学元件 薄膜 均匀性 修正板 修正 
强激光与粒子束
2007, 19(7): 1153
作者单位
摘要
1 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,江苏,南京,210042
2 中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209
用于天文望远镜的银增强大型反射镜,具有良好的光学特性.但银反射镜存在与玻璃基板附着差,容易受大气污染物侵蚀的弱点.研制铜基银增强型反射镜,由于铜和银膜间的相互作用,克服了上述缺点,取得了较好的效果.
反射膜 天文望远镜 金属薄膜 
光电工程
2003, 30(1): 70

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