1 昆明物理研究所,云南 昆明 650223
2 昆明北方红外技术股份有限公司,云南 昆明 650217
3 国营第二九八厂,云南 昆明 650114
采用投样试验的方法,在锗基底上镀制红外减反射膜样品,将样品放置在西双版纳热带雨林环境进行试验,通过傅里叶红外光谱仪、扫描电镜等测量手段,分析了试验前后样品的变化特性,对镀膜样品在热带雨林环境中的稳定性进行了研究。实验发现,在热带雨林环境中薄膜微缺陷的腐蚀、扩展是导致薄膜失效的主要原因。
锗基底 减反射膜 热带雨林环境 微缺陷 环境稳定性 Ge base antireflective films rainforest environment micro defect environment stability
1 中国科学院 光电技术研究所, 成都 610209
2 中国科学院 研究生院, 北京 100039
采取主镜镜面向上真空蒸镀制备方式，开展了大型天文望远镜主镜铝加介质保护反射膜技术研究。结合ZZS3200型镀膜设备真空室几何配置，对传统膜厚分布计算物理模型进行了修正，分别分析了铝膜与介质膜层膜厚均匀性。结果表明:理论分析与实验数据一致，直径2.4 m范围内膜厚不均匀性约5.5%。通过优化工艺，成功制备出1.8 m平面镜薄膜元件，在350~1 800 nm波段范围内，膜层平均反射率88.6%，通过了环境稳定性测验。
均匀性 反射率 环境稳定性 主镜 镀膜 uniformity reflectance environment stability primary mirror coating
中国科学院上海光学精密机械研究所,光学薄膜研究与发展中心,上海,201800
用热蒸发方法沉积了薄膜滤光片.并将样品分别在去离子水中浸泡10天和30天.通过分光光度计、光学暗场显微镜、及扫描电子显微镜等多种测试手段,对诱导透射滤光片在潮湿环境下的稳定性进行了研究.实验发现,在潮湿环境下滤光片产生的膜层分离都是从薄膜中微缺陷点处开始发生和发展的,微缺陷是影响滤光片环境稳定性的重要原因之一,其中杂质和针孔是滤光片中两种最常见的微缺陷.EDS能谱分析进一步表明,薄膜中杂质缺陷成分即为Al2O3膜料本身,所以不能推测,薄膜沉积中的喷溅可能是微缺陷产生的根本原因,抑制喷溅可以有效提高薄膜滤光片的环境稳定性.最后还用扩散理论对微缺陷引起滤光片失效的机理进行了分析.
薄膜滤光片 微缺陷 环境稳定性 Thin film filters Microdefect Environment stability
