1 中北大学先进制造技术山西省重点实验室, 山西 太原 030051
2 中国特种设备检测研究院, 北京 100029
3 中国科学院声学研究所, 北京 100190
为实现对表面缺陷深度的激光超声定量检测,建立了与缺陷宽度有关的深度测量理论。建立了含有宽度修正项的深度测量公式,并定义了缺陷尺寸比值概念,划分了窄缺陷、极窄缺陷与宽缺陷三种缺陷类型,以及在这三种不同类型下缺陷深度测量方法的适用性,并采用有限元仿真加以验证;搭建了激光超声检测实验平台,对铝合金表面缺陷样品进行了深度检测。结果表明:引入宽度修正项可实现对窄缺陷深度的定量检测,该方法的平均测量误差不足5%,很好地实现了缺陷深度的精确测量。
碲锌镉晶体（CdZnTe）是一种性能优异的红外焦平面探测器衬底材料，其质量的优劣将直接影响外延层的结构与性能，而晶体中的微观缺陷常常是影响衬底材料质量的主要因素之一。本文采用红外透射显微镜、金相显微镜、X 射线形貌仪、扫描电镜、白光干涉仪等仪器系统地检测和研究了碲锌镉晶体中存在的微观缺陷。研究发现碲锌镉晶体样品中主要存在层错、孪晶界和包裹物等微观缺陷，结合晶体缺陷理论详细地分析了碲锌镉晶体中微观缺陷的形成机制。
碲锌镉晶体 微观缺陷 层错 包裹物 孪晶 Cadmium zinc telluride micro-defect stacking fault inclusion twinning
1 昆明物理研究所,云南 昆明 650223
2 昆明北方红外技术股份有限公司,云南 昆明 650217
3 国营第二九八厂,云南 昆明 650114
采用投样试验的方法,在锗基底上镀制红外减反射膜样品,将样品放置在西双版纳热带雨林环境进行试验,通过傅里叶红外光谱仪、扫描电镜等测量手段,分析了试验前后样品的变化特性,对镀膜样品在热带雨林环境中的稳定性进行了研究。实验发现,在热带雨林环境中薄膜微缺陷的腐蚀、扩展是导致薄膜失效的主要原因。
锗基底 减反射膜 热带雨林环境 微缺陷 环境稳定性 Ge base antireflective films rainforest environment micro defect environment stability
1 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800
2 中国科学院,研究生院,北京,100039
利用电子束热蒸发方法在K9玻璃基底上沉积氧化锆薄膜,并对其中一些样品用低能O2+进行了后处理.采用表面热透镜技术测量薄膜样品表面弱吸收,采用显微镜观察样品离子后处理前后的显微缺陷密度.测试结果表明:经离子后处理样品表面的缺陷密度从18.6/mm2降低到6.2/mm2,且其激光损伤阈值从15.9 J/cm2提高到23.1 J/cm2,样品的平均吸收率从处理前的1.147×10-4降低到处理后的9.56×10-5.通过对处理前后样品的表面微缺陷密度、吸收率及损伤形貌等的分析发现，离子后处理可以降低薄膜的显微缺陷和亚显微缺陷,从而降低薄膜的平均吸收率,同时增强了薄膜与基底的结合力,提高了薄膜的激光损伤阈值.
激光损伤阈值 薄膜 离子后处理 微缺陷 Laser-induced damage threshold Film Ion post-treatment Micro-defect
成都精密光学工程研究中心,四川,成都,610041
神光Ⅲ的光学系统具有高功率密度运行的特点,对光学元件的抗激光损伤能力等提出了很严格的要求.光学元件内部的微缺陷会引起局域场强增强,采用时域有限差分方法对亚波长量级的缺陷进行了电磁场的数值模拟,并对数值计算的参数选取给出了定量的判断.
时域有限差分方法 微缺陷 激光损伤 Time-domain finite difference method（FDTD） Micro-defect Laser-induced damage
