1 昆明物理研究所,云南 昆明 650223
2 昆明北方红外技术股份有限公司,云南 昆明 650217
3 国营第二九八厂,云南 昆明 650114
采用投样试验的方法,在锗基底上镀制红外减反射膜样品,将样品放置在西双版纳热带雨林环境进行试验,通过傅里叶红外光谱仪、扫描电镜等测量手段,分析了试验前后样品的变化特性,对镀膜样品在热带雨林环境中的稳定性进行了研究。实验发现,在热带雨林环境中薄膜微缺陷的腐蚀、扩展是导致薄膜失效的主要原因。
锗基底 减反射膜 热带雨林环境 微缺陷 环境稳定性 Ge base antireflective films rainforest environment micro defect environment stability
西安工业学院,光电工程学院,陕西,西安,710032
为了提高锗基底的透过率和膜层的机械强度,对锗基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究.介绍了红外宽带减反射膜的膜料选择、膜系设计以及采用离子束辅助沉积该膜系的过程.给出了用该方法制备的7～11.5 μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线,其峰值透过率高达99.5%以上,在设计波段范围内平均透过率大于97.5%,膜层附着性能好,光机性能稳定.这对于红外光学系统的应用具有十分重要的意义.
红外减反射膜 离子束辅助沉积 锗基底 infrared antireflective film ion-beam assisted deposition（IBAD） germanium substrate
