1 长春理工大学 光电工程学院, 长春 130022
2 长春一东离合器股份有限公司, 长春 130012
以声光晶体TeO2为衬底, 设计并研制了1 300~3 400 nm波段超宽带减反射膜.从薄膜热应力理论出发, 建立膜层热应力受力示意图, 结合TeO2晶体的特性和力矩判定方法, 采用解析法逆向计算分析薄膜材料的热膨胀系数及杨氏模量.实验验证表明: 所制备的膜层附着力在1300~3400nm波段平均透过率为96.8%;在相同工艺条件下, 采用连接层所制备的薄膜附着力更好, 可以解决脱膜问题, 满足相应的附着力检测要求.
薄膜 红外减反射膜 真空电子束镀膜 TeO2晶体 薄膜热应力 力矩判定 声光可调滤波器 Film Infrared antireflection coating Electron beam vacuum coating TeO2 crystal Thin film thermal stress Torque determination method Acousto-optic tunable filter
设计并研制了基于声光晶体的1 300~3 400 nm波段超宽带减反射膜.运用电子束真空沉积系统,采用双材料共蒸发技术,解决了膜系设计时所需材料的折射率匹配和相应波段膜层吸收的问题,吸收在工作波段减少到0.7%.在共蒸发过程中,先沉积蒸发速率不稳定的材料,待蒸发速率稳定后,同时沉积另一种蒸发速率较稳定的材料,可提高共蒸发时两种材料的质量配比准确度从而获得所需要的折射率.制备的薄膜在所需波段平均透射率大于96%,薄膜满足相应的环境检测要求.
红外减反射膜 声光可调滤光器 共蒸发技术 TeO2晶体 材料吸收 Infrared antireflection coating Acousto-optic tunable filter Co-evaporation technology TeO2 crystal Absorption of material
西安工业学院,光电工程学院,陕西,西安,710032
为了提高锗基底的透过率和膜层的机械强度,对锗基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究.介绍了红外宽带减反射膜的膜料选择、膜系设计以及采用离子束辅助沉积该膜系的过程.给出了用该方法制备的7～11.5 μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线,其峰值透过率高达99.5%以上,在设计波段范围内平均透过率大于97.5%,膜层附着性能好,光机性能稳定.这对于红外光学系统的应用具有十分重要的意义.
红外减反射膜 离子束辅助沉积 锗基底 infrared antireflective film ion-beam assisted deposition（IBAD） germanium substrate
