为了满足光电设备窗口片的使用要求, 设计了一种以硒化锌为基底的多波段红外增透膜。为了达到多波段增透的目的, 选取硫化锌、氟化镱分别作为高、低折射率材料, 在硒化锌基底前后表面镀制相同的多波段红外增透膜。最终实现0.808 μm、0.880 μm、0.915 μm处透过率在91%以上, 3.7~4.8 μm和10.6 μm处透过率在95%以上, 并且膜层具有良好耐环境适应性。
光学薄膜 红外增透膜 多波段 硒化锌 optical film infrared antireflection coating multi-band zinc selenide
1 长春理工大学 光电工程学院, 长春 130022
2 长春一东离合器股份有限公司, 长春 130012
以声光晶体TeO2为衬底, 设计并研制了1 300~3 400 nm波段超宽带减反射膜.从薄膜热应力理论出发, 建立膜层热应力受力示意图, 结合TeO2晶体的特性和力矩判定方法, 采用解析法逆向计算分析薄膜材料的热膨胀系数及杨氏模量.实验验证表明: 所制备的膜层附着力在1300~3400nm波段平均透过率为96.8%;在相同工艺条件下, 采用连接层所制备的薄膜附着力更好, 可以解决脱膜问题, 满足相应的附着力检测要求.
薄膜 红外减反射膜 真空电子束镀膜 TeO2晶体 薄膜热应力 力矩判定 声光可调滤波器 Film Infrared antireflection coating Electron beam vacuum coating TeO2 crystal Thin film thermal stress Torque determination method Acousto-optic tunable filter
设计并研制了基于声光晶体的1 300~3 400 nm波段超宽带减反射膜.运用电子束真空沉积系统,采用双材料共蒸发技术,解决了膜系设计时所需材料的折射率匹配和相应波段膜层吸收的问题,吸收在工作波段减少到0.7%.在共蒸发过程中,先沉积蒸发速率不稳定的材料,待蒸发速率稳定后,同时沉积另一种蒸发速率较稳定的材料,可提高共蒸发时两种材料的质量配比准确度从而获得所需要的折射率.制备的薄膜在所需波段平均透射率大于96%,薄膜满足相应的环境检测要求.
红外减反射膜 声光可调滤光器 共蒸发技术 TeO2晶体 材料吸收 Infrared antireflection coating Acousto-optic tunable filter Co-evaporation technology TeO2 crystal Absorption of material
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 中山火炬职业技术学院光电工程系, 广东 中山 528436
针对军用光电仪器对激光致盲**的防护要求，选取Si和YbF3，ZnS和YbF3两种高低折射率组合形式研制了激光防护减反膜。在多光谱ZnS基底上，采用电子束及离子辅助沉积技术，制备了能够对532 nm和1064 nm激光进行有效防护，同时对3～5 μm的波段具有高透射率的薄膜。对Si膜的电子束沉积工艺进行了研究；对YbF3在不同的材料组合中的沉积工艺进行了优化；解决了膜层与基底之间的粘附性问题。该薄膜集探测用减反器件和防护器件于一体，可以使星载、机载等光电仪器的结构得到简化；光谱分析和环境测试的结果表明，各项指标满足使用要求。
薄膜 激光防护 离子辅助沉积 红外减反膜
