1 长春理工大学 光电工程学院, 长春 130022
2 长春一东离合器股份有限公司, 长春 130012
以声光晶体TeO2为衬底, 设计并研制了1 300~3 400 nm波段超宽带减反射膜.从薄膜热应力理论出发, 建立膜层热应力受力示意图, 结合TeO2晶体的特性和力矩判定方法, 采用解析法逆向计算分析薄膜材料的热膨胀系数及杨氏模量.实验验证表明: 所制备的膜层附着力在1300~3400nm波段平均透过率为96.8%;在相同工艺条件下, 采用连接层所制备的薄膜附着力更好, 可以解决脱膜问题, 满足相应的附着力检测要求.
薄膜 红外减反射膜 真空电子束镀膜 TeO2晶体 薄膜热应力 力矩判定 声光可调滤波器 Film Infrared antireflection coating Electron beam vacuum coating TeO2 crystal Thin film thermal stress Torque determination method Acousto-optic tunable filter
设计并研制了基于声光晶体的1 300~3 400 nm波段超宽带减反射膜.运用电子束真空沉积系统,采用双材料共蒸发技术,解决了膜系设计时所需材料的折射率匹配和相应波段膜层吸收的问题,吸收在工作波段减少到0.7%.在共蒸发过程中,先沉积蒸发速率不稳定的材料,待蒸发速率稳定后,同时沉积另一种蒸发速率较稳定的材料,可提高共蒸发时两种材料的质量配比准确度从而获得所需要的折射率.制备的薄膜在所需波段平均透射率大于96%,薄膜满足相应的环境检测要求.
红外减反射膜 声光可调滤光器 共蒸发技术 TeO2晶体 材料吸收 Infrared antireflection coating Acousto-optic tunable filter Co-evaporation technology TeO2 crystal Absorption of material
天津大学精密仪器及光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
系统地给出了满足平行切线动量匹配条件下的声光相互作用关系曲线,发现仅当光的入射方向与晶体光轴间的夹角约为56°时,在可见至近红外光谱范围内,同一声波矢量可使o光入射e光衍射和e光入射o光衍射同时满足平行切线动量匹配条件,并且这两束衍射光的波长相等.称这一特殊的角度为声光可调谐滤光器理论设计的等值点,并通过实验验证了这一分析结果的正确性.应用等值点原理设计声光可调谐滤光器,在不降低波长分辨率的前提下可大幅度提高光谱测量的信噪比.
声光可调谐滤光器 等值点 TeO2晶体 动量匹配
