西安工业学院,光电工程学院,陕西,西安,710032
为了提高锗基底的透过率和膜层的机械强度,对锗基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究.介绍了红外宽带减反射膜的膜料选择、膜系设计以及采用离子束辅助沉积该膜系的过程.给出了用该方法制备的7～11.5 μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线,其峰值透过率高达99.5%以上,在设计波段范围内平均透过率大于97.5%,膜层附着性能好,光机性能稳定.这对于红外光学系统的应用具有十分重要的意义.
红外减反射膜 离子束辅助沉积 锗基底 infrared antireflective film ion-beam assisted deposition（IBAD） germanium substrate
1 四川大学电子信息学院, 成都 610064
2 中国科学院光电技术研究所, 双流 610209
采用ΖnS/YbF3五层膜系结构镀制了CaF2窗口在3.4～4.2 μm波长范围的红外宽带增透膜,光谱测试结果 表明平均透过率在99%以上,该膜层能承受200 kW的激光功率输出。
DF化学激光器 CaF2窗口 宽带增透膜 高损伤阈值
