中国工程物理研究院 应用电子学研究所，绵阳 621900
为了解决?500 mm以上大口径光束波前的实时测量问题，设计了一种波前测量系统，即透镜阵列测量仪，其最大优点是避免了现有的H－S波前传感器所面临的大口径缩束器的加工难题。介绍了该测量系统的组成结构及其测量原理，分析了测量系统在设计中的参数选择，并根据具体的系统参数讨论了测量系统的检测性能。在此基础上，利用数值模拟对?1200mm口径光束进行了波前测量的仿真实验研究，分析了测量过程中系统标定对透镜阵列测量仪的作用。仿真实验表明，透镜阵列测量仪能够实现大口径光束的波前探测。
仪器测量与计量 透镜阵列测量仪 实验仿真 光束波面 instrumentation measurement and metrology lens-array measurement appearance experimental simulation beam wave-front
中国科学院安徽光学与精密机械研究所,大气光学重点实验室,安徽,合肥,230031
采用阵列传感器测量光斑方法在实际使用中非常有效,但固定阵列在设计中存在一些困难,通过旋转系统的设计,成功研制出大单元数的阵列光斑测量仪.旋转系统本身的特性要求机械和电路设计采用特殊的结构以解决系统的稳定性.给出了系统研制的设计思想,实现方法及实验测量结果.
阵列测量 旋转系统 激光光斑 array detector rotational device laser facula
