南京理工大学电子工程与光电技术学院， 江苏 南京 210094
波长移相干涉仪可用于大口径光学元件的测试。其移相量需经过标定方可采用定步长移相算法计算相位分布。在长腔长测试条件下，由于激光器的波长调谐控制电源的精度有限，以及环境振动、气流扰动等的影响，采用定步长移相算法求解相位分布的精度不高。在随机移相算法的基础上，提出了波长调谐随机移相算法，并将其应用于大口径波长移相干涉仪中。在对该算法进行模拟仿真，验证了算法的可行性及精度后，进行了实验研究。实验结果表明，在波长移相干涉仪中运用该方法，可以很好地解决长腔长测试条件下的相位计算问题，且与被测件的理想相位比较，精度较高。
测量 干涉 波长调谐 随机移相算法 长腔长
