1 四川大学光电科学技术系, 四川 成都 610064
2 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
提出一种新的零朗奇检测法用于测量大口径非球面镜的面形。利用光线追迹和正弦条纹的相位信息设计补偿正弦光栅。使用透射液晶显示屏显示补偿正弦光栅并作为相移装置。一个离轴点光源发出的光被镜面反射后通过补偿正弦光栅，摄像机记录携带镜面偏差信息的相移条纹图。通过对相移条纹图的分析确定被测镜面的实际横向像差以及对应的理想横向像差，然后基于朗奇检测的几何原理得到被测镜面的偏差梯度，对其积分获得被测镜面的偏差，进而重建被测镜面的三维面形。与传统的零朗奇检测法相比，这种方法可以消除补偿光栅上每个条纹带边缘的锯齿形状，而且可以获得镜面上足够多的待测点信息。计算机模拟和初步实验验证了该方法的可行性。
测量 三维面形测量 零朗奇检测法 非球面镜 条纹分析
