1 上海理工大学 光电信息与计算机工程，上海 200093
2 上海市现代光学系统重点实验室，上海 200093
针对光电极值法和石英晶振法各自的弊端，结合两种方法提出了光控-晶控膜厚监控法.在相同工艺条件下，分别使用这三种方法监控905 nm窄带滤光片（规整膜系）和830 nm截止滤光片（非规整膜系）的膜厚，对制备的滤光片的透射率光谱曲线进行比较.结果表明，光控-晶控膜厚监控法除了各项指标都符合要求外，在曲线通带处获得的平均透过率值比光电极值法和石英晶振法获得的平均透过率值提高了3%～6%，且与理论光谱基本吻合，光谱特性最好.该方法不仅对规整和非规整膜系都能进行监控，且能有效降低膜厚误差，提高光谱特性.
规整膜系 非规整膜系 光控-晶控 滤光片 光电极值法 石英晶振法 透射率 Quarter wave coatings Non-quarter wave coatings Photoelectric-quartz control Filters Photoelectric extreme value method Quartz crystal oscillation method Transmittance value
光学薄膜的光学特性与其每一膜层的厚度密切相关, 为了制备出符合要求的光学薄膜产品, 在制备过程中必须监控膜厚。光学薄膜实时监控精度决定了所镀制的光学薄膜的厚度精度。针对光电极值法极值点附近监控精度低、无法精确监控非规整膜系的缺陷, 提出了新的光学薄膜膜厚监控算法。该算法通过数学运算, 使得光学薄膜的光学厚度与透射率呈线性关系, 并且有效地消除光源波动、传输噪声等共模干扰的影响, 算法精度可控制在2%以内。
光学薄膜 膜厚监控 非规整膜系 optical thin-film thin-film thickness montoring non-normalized coating system
1 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
2 中国科学院研究生院,北京,100039
介绍了一种利用光电极值法同时控制规整膜系和非规整膜系的方法,利用VC++编写程序实现对光学监控信号的采集、处理及停镀点的自动判断,实现了规整膜系和非规整膜系膜层厚度的自动控制.并利用该膜厚自动控制系统实验制备了规整膜系和非规整膜系多层膜,实验结果表明:利用该系统镀制的薄膜重复性良好,且光谱曲线和理论光谱曲线吻合较好.该系统解决了非规整膜系的监控问题,由计算机控制膜层的停镀点,排除了人的主观因素对薄膜的性能及其制备的重复性产生的影响,提高了薄膜镀制的重复性和成品率.
光学薄膜 自动控制 光学监控 规整膜系 非规整膜系
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科学院研究生院, 北京 100039
借助于VC++编程从理论上模拟分析了膜厚监控误差以及监控片不均匀性对光学膜厚监控的影响。结果表明,膜厚监控误差和监控片的不均匀性都对监控曲线有影响;随着膜层层数的增加,监控片不均匀性逐渐增大。实验制备了多层规整薄膜并对其监控曲线进行了分析,分析表明考虑到膜厚监控误差和监控片不均匀性后计算的光学监控曲线和镀膜过程实测光学监控曲线吻合较好。这说明膜厚监控误差和监控片不均匀性是引起监控曲线与理论值偏离的重要因素。介绍了如何计算考虑膜厚监控误差和监控片不均匀性后的理论监控曲线。这将对膜厚自动监控,尤其是对非规整膜系的自动监控具有重要的指导意义。
薄膜光学 膜厚监控 误差分析 不均匀性 规整膜系 非规整膜系
1 华中科技大学,光电子工程系,湖北,武汉,430074
2 福州康顺光通讯有限公司,福建,福州,350014
为解决专门制备DWDM薄膜滤光片的Leybold APS 1104DWDM镀膜机制备包含几十层膜层的非规整膜系存在一定困难的问题,分析了非规整膜系光控曲线中关键区产生的原因,认为这是触发点位置与非理想环境因素共同作用造成触发点漂移产生的结果.误差校正功能的实现与监控曲线的走值趋势密切相关,曲线必须存在理论触发点和至少一个拐点.实验结果表明,采用准规整膜系设计方法能有效避免关键区的危害,同时充分发挥误差校正的功能.利用该镀膜机在精度、灵敏度和算法等方面的优势,设计出了与其配套的膜系,成功?刂票噶烁髦指咝阅鼙∧ぢ斯馄?
多层膜 莱宝 非规整膜系 镀膜机
