光电工程, 2003, 30 (1): 1, 网络出版: 2007-11-14   

微透镜列阵与红外探测器列阵集成芯片的研究

Study on the Integrated Chip of Microlens Array with IR Detector Array
作者单位
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点开放实验室,四川,成都,610209
摘要
在分析微透镜列阵光聚能原理的基础上,针对背照式256(290铂硅红外焦平面探测器列阵的结构参数,设计了衍射微透镜列阵,使入射光通过硅基底聚焦至探测器的各个光敏面上, 提高光能利用率从而增强探测能力.实验获得了微透镜列阵与红外焦平面集成芯片,并在热成像中取得了良好的结果.
Abstract

杜春雷, 邱传凯, 邓启凌, 潘丽, 白临波, 王永茹. 微透镜列阵与红外探测器列阵集成芯片的研究[J]. 光电工程, 2003, 30(1): 1. 杜春雷, 邱传凯, 邓启凌, 潘丽, 白临波, 王永茹. Study on the Integrated Chip of Microlens Array with IR Detector Array[J]. Opto-Electronic Engineering, 2003, 30(1): 1.

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