光谱学与光谱分析, 2012, 32 (4): 1094, 网络出版: 2012-04-16  

化学水浴法和磁控溅射法制备硫化镉薄膜的性能研究

Comparative Study on Thin Films of Cadmium Sulfide Prepared by Chemical Bath Deposition and Radio Frequency Magnetron Sputtering
作者单位
1 中国农业大学理学院, 北京100083
2 中国科学院过程工程研究所, 北京100190
3 北京交通大学理学院, 北京100044
基本信息
DOI: 10.3964/j.issn.1000-0593(2012)04-1094-04
中图分类号: O484.4+1
栏目:
项目基金: 国家科技支撑项目(2009BAB49B04), 中央高校基本科研业务费项目(15050115)和高等学校科技创新工程重大项目培育资金项目(21010112)资助
收稿日期: 2011-09-01
修改稿日期: 2011-12-09
网络出版日期: 2012-04-16
通讯作者: 王胜利 (wlxwsl.1988@163.com)
备注: --

王胜利, 王学进, 王文忠, 梁春军, 王志, 祁铮. 化学水浴法和磁控溅射法制备硫化镉薄膜的性能研究[J]. 光谱学与光谱分析, 2012, 32(4): 1094. WANG Sheng-li, WANG Xue-jin, WANG Wen-zhong, LIANG Chun-jun, WANG Zhi, QI Zheng. Comparative Study on Thin Films of Cadmium Sulfide Prepared by Chemical Bath Deposition and Radio Frequency Magnetron Sputtering[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2012, 32(4): 1094.

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