光学仪器, 2017, 39 (4): 90, 网络出版: 2017-10-30
软X射线共振反射方法表征Sc/Si多层膜界面化合物成分的计算研究
Characterization of interlayer composition in Sc/Si multilayers by soft X-ray resonant reflectivity method
软X射线共振反射 Sc/Si周期多层膜 界面成分 原子散射因子 soft X-ray resonant reflection Sc/Si periodic multilayers interface composition atomic scattering factor
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