光学仪器, 2017, 39 (4): 90, 网络出版: 2017-10-30  

软X射线共振反射方法表征Sc/Si多层膜界面化合物成分的计算研究

Characterization of interlayer composition in Sc/Si multilayers by soft X-ray resonant reflectivity method
作者单位
同济大学 物理科学与工程学院 先进微结构材料教育部重点实验室, 上海200092
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朱圣明, 李淼. 软X射线共振反射方法表征Sc/Si多层膜界面化合物成分的计算研究[J]. 光学仪器, 2017, 39(4): 90. ZHU Shengming, LI Miao. Characterization of interlayer composition in Sc/Si multilayers by soft X-ray resonant reflectivity method[J]. Optical Instruments, 2017, 39(4): 90.

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