激光技术, 2011, 35 (1): 36, 网络出版: 2011-08-30
157 nm激光微加工过程中激光参量对刻蚀性能的影响
Influence of laser parameters on etching performance during 157nm laser micromachining
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN249 |
栏目: | |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(50775169) |
收稿日期: | 2010-01-26 |
修改稿日期: | 2010-04-01 |
网络出版日期: | 2011-08-30 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
戴玉堂, 崔健磊, 徐刚, 白帆. 157 nm激光微加工过程中激光参量对刻蚀性能的影响[J]. 激光技术, 2011, 35(1): 36. DAI Yu-tang, CUI Jian-lei, XU Gang, BAI Fan. Influence of laser parameters on etching performance during 157nm laser micromachining[J]. Laser Technology, 2011, 35(1): 36.