光学学报, 2020, 40 (20): 2005001, 网络出版: 2020-09-30 复制并引用该论文  本文已被引 1 次  被引通知

图 & 表

图 1. 振幅型SOL与相位型SOL结构示意图

Fig. 1. Structure of amplitude-tpye SOL and phase-tpye SOL

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图 2. SOL衍射聚焦示意图

Fig. 2. Schematic diagram of diffraction focusing by SOL

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图 3. SOL_1-4沿轴光强分布、横向FWHM分布以及聚焦光斑强度分布。(a)~(d)沿轴光强分布、横向FWHM分布;(e)~(h)聚焦光斑强度分布

Fig. 3. Distribution of axial intensity, transverse FWHM and focal spot intensity for SOL_1-4. (a)--(d) Axial intensity, transverse FWHM; (e)--(h) focal spot intensity

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图 4. 振幅型SOL和相位型SOL简要制造流程

Fig. 4. Brief manufacturing process of amplitude-type SOL and phase-type SOL

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图 5. SOL环带制造误差示意图。(a) 横向误差;(b) 纵向误差

Fig. 5. Diagram of ring belt manufacturing errors: (a) Transverse error; (b) longitudinal error

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图 6. SOL₁聚焦性能变化。(a) 聚焦焦距偏差;(b) 焦平面横向暗场旁瓣比;(c)轴向暗场旁瓣比;(d) 光斑横向尺寸

Fig. 6. Focusing performance of SOL₁. (a) Focal distance deviation; (b) transverse sidelobe ratio; (c) axial sidelobe ratio; (d) transverse focal size

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图 7. SOL₂聚焦性能变化。(a) 聚焦焦距;(b) 焦平面横向暗场旁瓣比;(c)轴向暗场旁瓣比;(d) 光斑横向尺寸

Fig. 7. Focusing performance of SOL₂. (a) Focal distance deviation; (b) transverse sidelobe ratio; (c) axial sidelobe ratio; (d) transverse focal size

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图 8. SOL₂聚焦光场随相位调制量φ的计算结果。(a)轴向光场分布;(b)焦平面横向光场分布

Fig. 8. Calculation result of focusing field with different phase modulation. (a) Axial light field distribution; (b) transverse light field distribution of focal plane

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图 9. SOL_2-4聚焦性能随相位调制量φ的变化。(a) 光斑中心强度;(b) 光斑横向尺寸

Fig. 9. SOL_2-4 focusing performance varying with phase modulation φ. (a) Spot center intensity; (b) transverse spot size

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图 10. SOL₅相位调制量和聚焦光斑中心强度随刻蚀深度的变化

Fig. 10. Phase modulation and focused central intensity varying with the etching depth of SOL₅

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表 1优化设计的SOL参数

Table1. Optimized design parameters of SOL

SOL Type D/mm Δr/μm f/μm FWHM/λ N ti SOL1 Amplitude 2 25 400 0.468 40 [00001 11111 11110 10011 10101 10101 10100 11101] SOL2 Phase 2 25 400 0.471 40 [11111 11111 bbbb1 b11bb b111b bb11b 11b11 bbb1b] SOL3 Phase 4 40 800 0.467 50 [bbb1b 11111 111bb 1b1bb b11bb bbb1b 1bb1b 11bbb 1b1b1 1bb1b] SOL4 Phase 8 80 1600 0.457 50 [b11bb bbbbb bbbb1 1bbb1 11b1b 11bbb 1bb1b b11b1 b1b11 b111b]

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表 2相位型SOL₅结构参数

Table2. Structural parameter of phase-type SOL₅

SOL Type D/μm Δr/μm f/μm FWHM/λ ti SOL5 Phase 10 0.2 2 0.443 [1bb11 bbbb1 bbb1b bb1bb 11b11]

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何韬, 刘涛, 刘康, 李国卿, 王佳怡, 田博, 杨树明. 制造误差对大尺度超振荡平面透镜聚焦性能的影响[J]. 光学学报, 2020, 40(20): 2005001. Tao He, Tao Liu, Kang Liu, Guoqing Li, Jiayi Wang, Bo Tian, Shuming Yang. Effect of Manufacturing Errors on Focusing Performance of Large-Scale Super-Oscillatory Lens[J]. Acta Optica Sinica, 2020, 40(20): 2005001.