GaSb基VCSEL刻蚀工艺研究 | 光电工程 -- 中国光学期刊网

光电工程, 2017, 44 (12): 1225, 网络出版: 2018-01-17

GaSb基VCSEL刻蚀工艺研究

Study on etch process of GaSb-based VCSEL

张昕李洋王霞李杨岳光礼王志伟谢检来张家斌 ^*郝永芹

作者单位

长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室，长春 130022

垂直腔面发射激光器腐蚀速率表面形貌酒石酸 Gallium Antimonide GaSb VCSEL etching rate surface morphology tartaric acid

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