光电工程, 2017, 44 (12): 1225, 网络出版: 2018-01-17
GaSb基VCSEL刻蚀工艺研究
Study on etch process of GaSb-based VCSEL
图 & 表
张昕, 李洋, 王霞, 李杨, 岳光礼, 王志伟, 谢检来, 张家斌, 郝永芹. GaSb基VCSEL刻蚀工艺研究[J]. 光电工程, 2017, 44(12): 1225. Xin Zhang, Yang Li, Xia Wang, Yang Li, Gangli Yue, Zhiwei Wang, Jianlai Xie, Jiabin Zhang, Yongqin Hao. Study on etch process of GaSb-based VCSEL[J]. Opto-Electronic Engineering, 2017, 44(12): 1225.