中国激光, 2019, 46 (9): 0904006, 网络出版: 2019-09-10
基于透射式激光空气隙干涉的纳米分辨率精密位移测量 
下载： 1058次
Precision Displacement Measurement with Nanometer Resolution Based on Transmissive Laser Air-Wedge Interference
基本信息
| DOI: | 10.3788/CJL201946.0904006 |
| 中图分类号: | O436.1 |
| 栏目: | 测量与计量 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金、国家重点研发计划项目、中国科学院重点实验室开放项目、 |
| 收稿日期: | 2019-04-02 |
| 修改稿日期: | 2019-05-14 |
| 网络出版日期: | 2019-09-10 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
王子轩, 冀聪, 王晶, 杨钢, 王肖隆, 林强. 基于透射式激光空气隙干涉的纳米分辨率精密位移测量[J]. 中国激光, 2019, 46(9): 0904006. Wang Zixuan, Ji Cong, Wang Jing, Yang Gang, Wang Xiaolong, Lin Qiang. Precision Displacement Measurement with Nanometer Resolution Based on Transmissive Laser Air-Wedge Interference[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(9): 0904006.
PDF全文
