计量型原子力显微镜的位移测量系统

李伟; 高思田; 卢明臻; 施玉书; 杜华

doi:doi:10.3788/ope.20122004.0796

光学精密工程, 2012, 20 (4): 796, 网络出版: 2012-05-11

计量型原子力显微镜的位移测量系统

Position measuring system in metrological atomic force microscope

李伟 ^*高思田卢明臻施玉书杜华

作者单位

中国计量科学研究院，北京 100013

补充材料

李伟, 高思田, 卢明臻, 施玉书, 杜华. 计量型原子力显微镜的位移测量系统[J]. 光学精密工程, 2012, 20(4): 796. LI Wei, GAO Si-tian, LU Ming-zhen, SHI Yu-shu, DU Hua. Position measuring system in metrological atomic force microscope[J]. Optics and Precision Engineering, 2012, 20(4): 796.