光学 精密工程, 2012, 20 (4): 796, 网络出版: 2012-05-11
计量型原子力显微镜的位移测量系统
Position measuring system in metrological atomic force microscope
原子力显微镜 纳米计量 位移测量 多倍程干涉仪 非线性 atomic force microscope nanometrology displacement measurement multi-pass interferometer nonlinearity
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