全光纤皮秒激光切割蓝宝石晶圆的实验研究

胡小豹; 郝强; 郭政儒; 曾和平

doi:doi:10.3788/CJL201744.0102016

中国激光, 2017, 44 (1): 0102016, 网络出版: 2017-01-10

全光纤皮秒激光切割蓝宝石晶圆的实验研究下载： 1706次

Dicing of Sapphire Wafer with All-Fiber Picosecond Laser

胡小豹 ^1,*郝强 ¹郭政儒 ¹曾和平 ^1,2

作者单位

¹ 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093

² 华东师范大学精密光谱科学与技术国家重点实验室, 上海 200062

引用该论文

胡小豹, 郝强, 郭政儒, 曾和平. 全光纤皮秒激光切割蓝宝石晶圆的实验研究[J]. 中国激光, 2017, 44(1): 0102016.

Hu Xiaobao, Hao Qiang, Guo Zhengru, Zeng Heping. Dicing of Sapphire Wafer with All-Fiber Picosecond Laser[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(1): 0102016.

引用列表

1、碳化硅晶圆超快激光多脉冲模式和脉冲串模式隐形切割技术研究中国激光, 2023, 50 (20): 2002405

2、皮秒脉冲隐形切割碳化硅晶圆实验研究光学仪器, 2022, 44 (3): 88

3、高精度同步飞秒和皮秒脉冲产生技术中国激光, 2020, 47 (10): 1001001

4、双图案非均匀耦合固结磨盘的设计及实验研究光学学报, 2020, 40 (8): 0824001

5、高功率飞秒自相似光纤激光放大系统中国激光, 2020, 47 (3): 308001

6、皮秒贝塞尔光束切割化学强化玻璃中国激光, 2019, 46 (11): 1102010

7、非线性环路反射镜锁模光纤激光器的研究进展中国激光, 2019, 46 (5): 0508013

8、结构紧凑的kHz重复频率光纤-固体皮秒激光光源中国激光, 2018, 45 (4): 401010

胡小豹, 郝强, 郭政儒, 曾和平. 全光纤皮秒激光切割蓝宝石晶圆的实验研究[J]. 中国激光, 2017, 44(1): 0102016. Hu Xiaobao, Hao Qiang, Guo Zhengru, Zeng Heping. Dicing of Sapphire Wafer with All-Fiber Picosecond Laser[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(1): 0102016.

全光纤皮秒激光切割蓝宝石晶圆的实验研究下载： 1706次

关于本站 Cookie 的使用提示

全站搜索

全光纤皮秒激光切割蓝宝石晶圆的实验研究 下载： 1706次

相关论文

相关资讯

关于本站 Cookie 的使用提示

全站搜索

全光纤皮秒激光切割蓝宝石晶圆的实验研究下载： 1706次