含多孔硅层的波导耦合光栅纳米异质结构的折射率传感机理下载： 798次 | 中国激光 -- 中国光学期刊网

中国激光, 2017, 44 (10): 1010003, 网络出版: 2017-10-18

含多孔硅层的波导耦合光栅纳米异质结构的折射率传感机理下载： 798次

Refractive Index Sensing Mechanism of Waveguide Coupled Gratings Nano-Heterostructure Containing Porous Silicon Layers

陈颖 ¹赵志勇 ¹田亚宁 ¹刘晓飞 ¹朱奇光 ²翟应俭 ³李少华 ³

作者单位

¹ 燕山大学电气工程学院河北省测试计量技术及仪器重点实验室, 河北秦皇岛 066004

² 燕山大学信息科学与工程学院河北省特种光纤与光纤传感器重点实验室, 河北秦皇岛 066004

³ 河北先河环保科技股份有限公司, 河北石家庄 050035

传感器波导耦合光栅折射率多孔硅 sensors waveguide coupled gratings refractive index porous silicon

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